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发布时间:2026-02-10 10:03:15点击量:
国家知识产权局信息显示,成都中科唯实仪器有限责任公司申请一项名为“一种插板阀的压力控制方法”的专利,公开号CN121028897A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明涉及阀门控制技术领域,公开了一种插板阀的压力控制方法,包括打开插板阀阀门,将腔体的腔体压力预抽到分子泵的工作压力范围内,打开分子泵,待分子泵达到设定的稳定转速后且腔体压力稳定后进行下一步骤;关闭插板阀阀门,分子泵升高腔体压力到预设压力后,逐渐打开插板阀阀门,直到腔体压力不再升高,记录数据;建立开度与阀门流导模型;建立开度变化时与腔体压力以及腔体压力变化值的模型:基于插板阀阀门的当前开度、腔体压力以及调整后的腔体压力,反推得到阀门调整后的开度并控制阀门运行到该开度。本发明实时采集压力数据,能有效应对腔室气体泄漏与插板阀抽气的非线性特征,提高插板阀压力控制的精准性以及控制的响应速度。
天眼查资料显示,成都中科唯实仪器有限责任公司,成立于2001年,位于成都市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2280万人民币。通过天眼查大数据分析,成都中科唯实仪器有限责任公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目61次,财产线条,此外企业还拥有行政许可6个。
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